欧美日韩激情xxx-欧美高清视频一区二区三区-亚洲大胆人体在线视频-麻豆精品国产av在线播放-999精品福利视频-中文字幕 日韩av-在线观看中文字幕码2020-国产91成人资源在线播放-久久中文网在线观看,超碰免费在线中文字幕 ,欧美日韩一区二区三区有限公司,久久亚洲精品9999

特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部分是腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體。

針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計將鋼瓶置于特氣柜(Gas Cabinet)內(nèi)，再通過管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場附近的閥門箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再進入制程機臺的使用點(POU, Point of Use)，于進入機臺腔體之前，會有獨立的氣體控制盤(GB, Gas Box)與制程控制模塊聯(lián)機，以質(zhì)流流量計控制器(MFC, Mass Flow Controller)進行流量之控制與進氣的混合比例控制，通常此氣體控制盤不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計范疇，而是歸屬制程機臺設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤(VMP, Valve Manifold Panel)進行供應(yīng)。

本篇內(nèi)容來源于網(wǎng)絡(luò)，如有侵權(quán)，請聯(lián)系刪除